CKD數(shù)字顯示式精致液位開(kāi)關(guān)

型號(hào)：KML

行業(yè)：半導(dǎo)體制造工序（前工序）/氮?dú)馇逑搓P(guān)聯(lián)元件

特點(diǎn)：【可進(jìn)行遠(yuǎn)程操作】（KML703系列），傳感器與顯示器是分離開(kāi)的，因此，可在遠(yuǎn)離液槽的位置設(shè)置操作顯示器。可通過(guò)內(nèi)置通信功能(RS485)，實(shí)現(xiàn)主電腦的操作。
【抗環(huán)境壓力波動(dòng)能力強(qiáng)】（KML703系列）
差壓方式是檢測(cè)環(huán)境壓力和水位的差壓，因此，在相同壓力環(huán)境下可針對(duì)檢測(cè)氣管和環(huán)境檢測(cè)氣管實(shí)現(xiàn)抗環(huán)境壓力波動(dòng)能力強(qiáng)的檢測(cè)。【更耐用】（KML502, MKML2, MXKML2）膜片材料的改變提高了耐用性。【提高便利性】（MKML2, MXKML）采用塊狀結(jié)構(gòu)可以改變聯(lián)軸器的數(shù)量。

CKD數(shù)字顯示式精致液位開(kāi)關(guān)

型號(hào)：KML，衍生系列

數(shù)字顯示式精致液位開(kāi)關(guān)

KML703

Series

無(wú)需設(shè)定檢測(cè)流量

抵抗環(huán)境壓力波動(dòng)的能力強(qiáng)（差壓方式）

可遠(yuǎn)程操作，也內(nèi)置通信功能（RS485）

項(xiàng) 目

KML703-G-485

KML703-D-485

檢測(cè)方式

表壓方式

差壓方式

使用流體清潔空氣、N2（注1）

使用壓力kPa10～30

流體溫度℃5～50

環(huán)境溫度℃5～50

耐壓力kPa

使用壓力100

檢測(cè)壓力10

檢測(cè)水位mm1～700（注2）

環(huán)境壓力波動(dòng)kPa－±3以?xún)?nèi)（檢測(cè)氣管與環(huán)境壓力檢測(cè)氣管在相同壓力環(huán)境下）

消耗流量Ncm3/min70以下140以下

監(jiān)控輸出DC4～20mA（負(fù)載電阻200～550Ω）

電源電壓DC24V ±10％ 電壓波動(dòng)率 1％以下

消耗電流mA130以下（DC24V時(shí)）
開(kāi)關(guān)輸出NPN集電極開(kāi)路8點(diǎn)（CH1～CH6 a觸點(diǎn)、CH7～CH8 b觸點(diǎn)）（DC30Ｖ 50ｍＡ 以下）

絕緣電阻MΩ100以上（DC500Ｖ 1分鐘）

耐電壓工頻頻率 AC500V 1分鐘

重復(fù)精度mm±3（接通電源10分鐘后（

注2）

磁滯mm1～10設(shè)定（注2）

響應(yīng)時(shí)間ms600以下（供氣壓力20kPa、檢測(cè)氣管內(nèi)徑φ4mm長(zhǎng)度5m時(shí)）

溫度特性mm/℃±1.2以?xún)?nèi)（檢測(cè)流體水）

檢測(cè)氣管內(nèi)徑mm4

檢測(cè)氣管長(zhǎng)度m5以?xún)?nèi)

注1：請(qǐng)使用經(jīng)過(guò)濾精度0.3μm以上的過(guò)濾器過(guò)濾后的流體。

注2：上述規(guī)格為，流體壓力20kPa、電源電壓DC24V、環(huán)境溫度20℃、檢測(cè)配管內(nèi)徑φ4×長(zhǎng)度5m、比重設(shè)定值1、噴嘴安裝高度0時(shí)的數(shù)值。

檢測(cè)流體取決于水。