美國(guó)派克PARKER膜片減壓閥產(chǎn)品概覽：

派克Veriflo產(chǎn)品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市場(chǎng)上的微型超高純減壓閥。產(chǎn)品提供極精確可可靠的壓力控制，提高了MFC（質(zhì)量流量控制器）的性能，對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)的重復(fù)性和產(chǎn)量至關(guān)重要。產(chǎn)品同樣表現(xiàn)出更好的泄露完整性和底粒子生成，減少對(duì)半導(dǎo)體應(yīng)用中至關(guān)重要的的過(guò)程污染.

減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，提供階躍函數(shù)流量需求變化的異常響應(yīng)。產(chǎn)品采用*的自動(dòng)定心束縛膜片設(shè)計(jì)，提供可靠閥座密封和壓力調(diào)節(jié)。通過(guò)消除閥芯彈簧和閥座滯留螺紋，zui大限度減少粒子生成和截留，進(jìn)一步提高工藝清潔度和吹掃性能.

SMSQ2Micro接液部件有特殊金屬制備，提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體材料為內(nèi)部電解拋光 Vericlean™ 316L不銹鋼。Vericlean™ 是派克zhuan利UHP超高純級(jí)不銹鋼。膜片和閥芯材料為哈氏合金 C-22®。這些材料由SMSQ2Micro系列*設(shè)計(jì)組成，使SMSQ2Micro系列具有強(qiáng)耐腐蝕性和zui高循環(huán)壽命，入口壓力高達(dá)250.

SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用與量子閥相同間距接口，符合SEMI模塊化接口規(guī)范.

所有SMSQ2Micro系列減壓閥的內(nèi)部（閥座）密封和金屬外部密封通過(guò)氦泄漏測(cè)試，使用質(zhì)譜儀確保在苛刻超高純應(yīng)用中的性能和可靠性.
市場(chǎng):
• 半導(dǎo)體
• 分析試驗(yàn)室
• 制藥
• 生物制藥
• 航空航天
• 工業(yè)
特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì):
• 有C 和 W密封貼面安裝1-1/8"和1-1/2"閥體尺寸
• 極低粒子數(shù)
• 束縛膜片消除接液部件的彈簧，增加安全性
• SMSQ2Micro0.06 Cv,SMSQ2Micro130E 0.15 Cv
• 出口壓力范圍： -10 psig 到 60 psig
• 內(nèi)漏率:≤ 5 x 10-8 scc/sec立方厘米/秒 He
• 外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He
• 5微英寸(Ra粗糙度)電解拋光表面處理
• 工作壓力范圍：-40°F 至 +150° F (-40°C 至 +66°C)
應(yīng)用:
• 腐蝕性和特殊氣體
• 半導(dǎo)體工具
• 工具掛鉤
• 氣體柜
• 閥組箱 (VMB)

美國(guó)派克PARKER膜片減壓閥技術(shù)規(guī)格：

性能特點(diǎn)
閥體材料 潔凈316L不銹鋼
壓縮構(gòu)件材料 潔凈316L不銹鋼
隔膜材料 哈氏合金 C-22
閥芯材料 哈氏合金 C-22
閥座材料 PCTFE
帽材料 銅鍍鎳
螺母材料 不銹鋼
旋鈕材料 ABS (藍(lán)) (SMSQ2Micro)
ABS (黑) (SMSQ2Micro130E)
爆破壓力 750 psig (52 barg)
可承受壓力 375 psig (26 barg)
流速 Cv: 0.06 (SMSQ2Micro), 0.15 (SMSQ2Micro130E)
內(nèi)部泄漏率 < 5 x 10-8 cc/sec He
外部泄漏率 < 2 x 10-10 cc/sec He
體積 0.08 cm3

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